庐江半导体无尘车间净化工程装修空调施工要点

 庐江半导体无尘车间净化工程空调施工要点主要包括以下几方面：

1. 空调系统设计：

   - 空调系统需根据半导体生产工艺要求和车间洁净度等级（如ISO Class 1-9级）设计，确保送风量充足，满足相应的换气次数。

   - 设计时要考虑温度、湿度的精确控制，以适应半导体生产对环境条件的高精度需求。

2. 高效过滤装置安装：

   - 高效过滤器（HEPA/ULPA）的选择和安装至关重要，要确保过滤效率符合要求，并且在安装过程中不能损坏过滤介质。

   - 过滤器安装位置通常位于回风口或者送风口，确保整个空调循环系统的空气质量达标。

3. 气流组织设计：

   - 气流组织应设计成单向流动或非单向流动但有足够涡流控制，避免尘埃粒子在车间内回流和滞留。

   - 要求气流均匀稳定，避免出现死角和涡流，确保车间内各点的洁净度一致。

4. 空调机组及管道施工：

   - 空调机组安装牢固，减震良好，同时管道连接紧密，杜绝漏风现象，所有的接缝和焊点都要做严密性和气密性测试。

   - 使用抗菌、防霉、耐腐蚀材料制作并安装风管，防止二次污染。

5. 控制系统集成：

   - 空调系统的自动控制系统应能实现对温湿度、压力、风速等多种参数的精确监控与调节，确保工艺环境的稳定性。

6. 竣工验收与调试：

   - 工程结束后，需要按照相关规定进行洁净度检测和空调性能测试，确保所有参数均达到设计标准和使用要求。同时，还要进行详细的系统调试和试运行，确保整个空调净化系统稳定可靠。

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